一、概述

滑閥泵有H、MH型，雙級2H型，廣泛用于制藥、電子、冶煉、陶瓷、航空、實驗室等多種場合，真空鍍膜、真空干燥、真空脫氣、真空浸漬、真空燒結、真空熱處理、真空濃縮、真空反應、真空模擬實驗等真空作業上。可單獨使用，可作為羅茨泵、油擴散泵、分子泵等高真空泵的前級泵。

二、滑閥泵結構與工作原理

1、滑閥泵中，與泵腔同心的驅動軸帶動偏心輪旋轉偏心輪旋轉，偏心輪帶動滑閥環運動，使滑閥桿在導軌中上下滑動和左右擺動。

2、滑閥將泵腔分成A、B兩個部分。當驅動軸按圖中所示方向轉動時，A腔容積增加，壓力降低，氣體經滑閥桿A腔一側的開口進入A腔，此時處于吸氣過程。

3、當滑閥處于左上方位置時(圖c中)，A腔容積達最大，此時進氣口與A腔隔絕，完成吸氣過程;B腔容積減小，壓縮氣體。

4、當B腔內氣體壓力達到排氣壓力時，推開油封的排氣閥，開始排氣。當滑閥處于左上方位置時排氣終了。 

三、內部結構剖析

四、滑閥真空泵特點

滑閥式真空泵與體積和轉速相同的其他型式的泵相比，由于滑閥體尺寸較小，抽速較大。但由于滑閥桿擺動的幅度很大，這種結構只使用于小型泵。在實際產品中，均采用以滑閥桿與滑閥環做成一體的結構。

滑閥泵出口處應設置油霧捕集器，用以捕集和回收由排氣閥排除的混在被抽氣體中的油滴，既可以節省泵油，又可以減少對環境的污染。